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LMAS汽浮直線電機平臺
特征

重現(xiàn)精度:±0.3μm

絕對精度:±3μm

水平直線度:±1μm

垂直直線度:±1μm

俯仰:±2arc-sec

偏擺:±2arc-sec

適用于潔淨(jìng)室 

低速度漣波


  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    空氣軸承定位平臺

    針對先端半導(dǎo)體與面板制程設(shè)備所開發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺。領(lǐng)先同業(yè)采用新型真空預(yù)壓低耗能氣浮軸承、動態(tài)反作用力平衡與慣性補償技術(shù),可于千分之一秒內(nèi)達(dá)到奈米誤差內(nèi)要求,大幅減少運動整定時間與組件磨耗率,提升設(shè)備生產(chǎn)力與可靠性。完整智能化遠(yuǎn)程系統(tǒng)偵測與全球客服支持提供,幫助客戶大幅縮短設(shè)備開發(fā)時程,節(jié)省許多整合時間與成本,使其更聚焦本身關(guān)鍵制程Know-how。




    空氣軸承

    非接觸式空氣軸承LMAS


    非接觸式空氣軸承提供更佳的定位精度

    嵌入式磁性預(yù)壓設(shè)計,提升穩(wěn)定性

    提供極平滑的運動與快速的整定時間

    無鐵芯式線性馬達(dá),無磁頓力

    高解析回饋搭配線性光學(xué)編碼器

    提供高繞性的纜線管理

    適用于潔淨(jìng)室 ,無需潤滑好保養(yǎng)

    低速度漣波

    應(yīng)用于精密定位、校驗系統(tǒng)、掃描應(yīng)用、晶圓檢測、無塵環(huán)境


    ProductPhoto_副本.jpg

    LMAS-汽浮接頭.png

    LMAS非接觸式空氣軸承直線電機平臺

    LMAS-汽浮-1.png

    LMAS非接觸式空氣軸承直線電機平臺

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吳海欣(專案科):18825521040

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