新產(chǎn)品
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Product Center
重現(xiàn)精度:±0.3μm
絕對精度:±3μm
水平直線度:±1μm
垂直直線度:±1μm
俯仰:±2arc-sec
偏擺:±2arc-sec
適用于潔淨(jìng)室
低速度漣波
空氣軸承
非接觸式空氣軸承LMAS
非接觸式空氣軸承提供更佳的定位精度
嵌入式磁性預(yù)壓設(shè)計,提升穩(wěn)定性
提供極平滑的運動與快速的整定時間
無鐵芯式線性馬達(dá),無磁頓力
高解析回饋搭配線性光學(xué)編碼器
提供高繞性的纜線管理
適用于潔淨(jìng)室 ,無需潤滑好保養(yǎng)
低速度漣波
應(yīng)用于精密定位、校驗系統(tǒng)、掃描應(yīng)用、晶圓檢測、無塵環(huán)境
LMAS非接觸式空氣軸承直線電機平臺
LMAS非接觸式空氣軸承直線電機平臺
吳海欣(專案科):18825521040
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