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半導(dǎo)體
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特殊的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),輕便精巧,采用直線電機(jī)降低運(yùn)動(dòng)的慣量,實(shí)現(xiàn)設(shè)備的平穩(wěn)運(yùn)行;非接觸的結(jié)構(gòu)形式滿足對于無塵環(huán)境的需求;光柵補(bǔ)償高精度結(jié)構(gòu)滿足視覺對于運(yùn)動(dòng)的精準(zhǔn)性要求,提高設(shè)備生產(chǎn)的良率。

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