空氣軸承直線電機(jī)定位平臺(tái)

針對(duì)先端半導(dǎo)體與面板制程設(shè)備所開(kāi)發(fā)之奈米空氣軸承直線電機(jī)定位平臺(tái)。領(lǐng)先同業(yè)採(cǎi)用新型真空預(yù)壓低耗能氣浮軸承、動(dòng)態(tài)反作用力平衡與慣性補(bǔ)償技術(shù)，可于千分之一秒內(nèi)達(dá)到奈米誤差內(nèi)要求，大幅減少運(yùn)動(dòng)整定時(shí)間與元件磨耗率，提升設(shè)備生產(chǎn)力與可靠性。完整智能化遠(yuǎn)端系統(tǒng)偵測(cè)與全球客服支援提供，幫助客戶大幅縮短設(shè)備開(kāi)發(fā)時(shí)程，節(jié)省許多整合時(shí)間與成本，使其更聚焦本身關(guān)鍵制程Know-how。

空氣軸承直線電機(jī)平臺(tái)LMAP系列

低外型、XY對(duì)稱(chēng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，并搭配高剛性的花崗巖基座磁性預(yù)壓設(shè)計(jì)，提升其穩(wěn)定性，具備優(yōu)越的幾何特性;采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)，無(wú)磁頓力縮短整定的時(shí)間，提供極佳的平滑運(yùn)動(dòng)與定位精度;橫梁設(shè)計(jì)采用堅(jiān)固質(zhì)輕的鋁合金，減少移動(dòng)部的重量;龍門(mén)雙驅(qū)架構(gòu)并利用兩組光學(xué)線性編碼器進(jìn)行回饋補(bǔ)償，提供動(dòng)態(tài)控制與誤差修正;適用于潔淨(jìng)室，無(wú)需潤(rùn)滑好保養(yǎng)，并提供高繞性的纜線管理。

實(shí)際案例：

高等級(jí)的晶圓品質(zhì)管制、光罩製作 :

晶圓表面的管制以及晶圓或玻璃面板的光罩通常需要採(cǎi)用空氣軸承式的XY直線電機(jī)平臺(tái)，以檢測(cè)出極微小的缺陷或製作出高精度的光罩。

例如電子業(yè)，晶片工業(yè)以及平面顯示器業(yè)裡面都採(cǎi) 用這種方式。

平面度±2μm 

重現(xiàn)性±0.5μm  

精度±1.5μm

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上銀汽浮直線電機(jī)平臺(tái)

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