提供完善的直線電機方案
Product Center
重現(xiàn)精度:±0.2μm
絕對精度:±1μm
水平直線度:±1.5μm
垂直直線度:±1.5μm
俯仰:±5arc-sec
偏擺:±5arc-sec
奈米級超精密運動控制
低速度漣波平滑運動
直線電機平臺
2奈米
最小增量控制
高剛性交叉滾子線性滑軌
高精度線性光學(xué)編碼器
NPS超精密模組-納米級
吳海欣(專案科):18825521040
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