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NPS超精密模組-納米級
特征

重現(xiàn)精度:±0.2μm

絕對精度:±1μm

水平直線度:±1.5μm

垂直直線度:±1.5μm

俯仰:±5arc-sec

偏擺:±5arc-sec

奈米級超精密運動控制

低速度漣波平滑運動



  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    直線電機平臺

        2奈米

    最小增量控制

    奈米級超精密運動控制

    低速度漣波平滑運動

    高剛性交叉滾子線性滑軌

    高精度線性光學(xué)編碼器NPS直線電機資料1.png

    NPS超精密模組-納米級


    NPS直線電機尺寸.png

    NPS超精密模組-納米級

    NPS直線電機參數(shù).png

    NPS直線電機資料2.png

吳海欣(專案科):18825521040

吳海欣二維碼.jpg

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